央广网蚌埠5月23日音讯（记者徐秋韵）当清晨的第一缕阳光穿透窗帘，手机屏保的晨曦画面已随环境光芒自动调节亮度；通勤途中，车载零碎感知到突发路况的0.01秒内，安全气囊已进入待命状况；工业呆板人抓取器件时，关节处的“电子神经元”正编织着精密的行动轨迹……

这些场景，都离没有开传感器，智能传感器犹如现代工业产品的“五官”，能听到、看到、闻到、感受到，也让天下更加“智慧”。

近年来，智能传感器作为野生智能家当进展的重要基石，在物联网、假造实际（VR）、呆板人、智能家居、自动驾驶汽车等家当进展中的枢纽支撑感化愈加凸显，而MEMS传感器需求尤为兴旺。

什么是MEMS？

它是一种微型电子机械零碎（Micro-ElectroMechanicalSystem），经过微纳加工技术将机械布局和电子元件集成在微米标准的芯片上。

需求的激增也让MEMS传感器家当成为浩繁乡村布局的赛道、发力的方向。在淮河之滨的安徽蚌埠，一片指甲盖大小的MEMS芯片，正撬动千亿级智能传感器家当的未来。2021年，在安徽省级支持下，蚌埠启动扶植中国传感谷，推进智能传感器家当集聚进展。2024年，中国传感谷被评为全国MEMS传感器十大园区。

展开盈余 82 %

中国传感谷（央广网发 刘晨摄）

在位于蚌埠的安徽南方微电子研讨院的展厅里，一张张刻有精密布局的晶圆片，记录着这座乡村的“独门绝技”。

“MEMS传感器的芯片制作就是在硅片上做‘木匠活儿’。”海内中高端MEMS技术与产品头部企业安徽南方微电子研讨院团体有限公司传感器事业部副总经理焦贵忠给记者打了个比方，他引见，传统半导体工艺是立体雕刻，MEMS传感器芯片工艺倒是立体“微雕”，一层层堆叠，精度要求高且布局庞大。

近日，依托安徽南方微电子研讨院先进技术和家当链所成立的安徽华鑫微纳集成电路有限公司投资扶植的8英寸MEMS晶圆生产线迎来一个个枢纽节点。华鑫微纳副总经理丁敬秀引见，目前串线产品共13款，6款产品已经完玉成流程工程批流片开始调试生产，计划6月底前交付客户做功能和可靠性验证。

华鑫微纳8英寸MEMS晶圆生产线上，光刻工程师对晶圆表面进行检测（央广网记者 徐秋韵摄）

生产线投产后，智能传感器的焦点部件——MEMS芯片将在蚌埠产出，向安徽以致全国的智能传感器企业供货，为整个家当链安全提供无力支撑。

记者在采访中了解到，没有少企业看重蚌埠的晶圆制作能力，蚌埠目前已经拥有6英寸高功能体硅MEMS晶圆制作平台，而华鑫微纳的8英寸MEMS晶圆生产线项目建成后，有望成为全国首条8英寸MEMS晶圆全自动生产线以及海内MEMS晶圆产出最大（3万片/月）的生产线。目前，企业累计与50家客户达成合作意向，签定流片需求合计21万片，累计签定条约1.2亿元。

这种精彩的晶圆制作能力同样成为中国传感谷招商的“吸铁石”。蚌埠经开区党工委委员、管委会副主任汤伟注意到，“8英寸MEMS晶圆生产线”吸收了没有少智能传感器企业了解园区、落户园区。就在前没有久，江苏甫瑞微纳传感科技有限公司生产基地项目落户中国传感谷，基地首要从事车规级气体和高压MSG力传感器的研发和生产。“他们没有仅需要MEMS中试平台，更需要一个能够为他们提供量产代工的平台，华鑫微纳扶植的‘定制化、柔性化MEMS代工平台基地’刚好满足企业量产的需求。”汤伟引见。

智能传感器犹如现代工业产品的“五官”（央广网记者 徐秋韵摄）

一个个传感器企业正在蚌埠聚链成势，安徽希磁科技股份有限公司在新动力汽车电撒布感器范畴的市场占有率凌驾30%，居行业第一，针对智能呆板人运用场景，公司研发的智能呆板人运动量编码器获得了行业认可，填补海内磁编码器空白；安徽芯动联科微零碎股份有限公司于2023年景功上市，依附国产高功能惯性传感器“隐形冠军”身份，成为行业标杆企业……目前，中国传感谷内，“一谷三园”布局已串连起200余家企业。

四年来，中国传感谷一直以最优的生态提拔立异创业、家当进展的活气。

在省级层面，去年，安徽出台《关于支持中国传感谷进展若干政策》，内容涉及加大投入、立异进展、人才引育等五个方面，多举措支持中国传感谷进展。

一流研发能力是翻开立异创业新局的“引擎”，怎样为园区企业提供全方位的科研技术支撑？蚌埠市科技局党委委员、副局长闻建忠表示，蚌埠保持“一个科研院所带动一个家当进展、一个驻蚌高校共建一个家当园区、每一个企业都拥有一个焦点技术支撑”的进展思绪，强化与大院大所、驻蚌高校院所人才共同引育、区域协同立异、成果当场转化等体系体例机制。

蚌埠市当局与西安交通大学、南方微电子研讨院有限公司共建精密微纳制作技术全国重点实行室长三角（蚌埠）产教融合协同中央；安徽省微机电零碎（MEMS）技术家当立异研讨院获批成立；兰州大学与安徽希磁科技股份有限公司联合扶植“磁传感联合实行室”……蚌埠围绕智能传感枢纽技术焦点已成功申报创建立异平台39个，个中国度级立异平台6个，这些立异平台推进优良科研资本导入蚌埠，赋能传感器企业进展。

精密微纳制作技术全国重点实行室长三角（蚌埠）产教融合协同中央成立（央广网发 蚌埠市委宣扬部供图）

在资金支持方面，蚌埠组建了总规模超70亿元的智能传感家当投资基金。蚌埠经开区积极打造“基金+家当载体”的方式，目前已组建基金4支，总规模26亿元。同时，积极对接金融机构，借助“投贷联动”等金融产品劣势，办理企业资金需求。

在人才支持方面，安徽省人力资本和社会保证厅近日正式批准中国（蚌埠）传感谷园区设立为省级留学人员创业园，标记着该园区在推进智能传感家当集聚、吸收海外高条理人才立异创业方面迈入全新阶段。

蚌埠还探索促出场景招商，围绕新技术新范畴梳理、公布场景清单，如智慧乡村、人形呆板人等运用场景，报告企业“我们有什么，我们要什么”，吸收智能传感器上中下游家当链企业落地，共筑传感器家当生态。

5月24日上午，第七届智能传感器家当进展大会将在蚌埠进行。这里的故事，是关于一粒“芯”怎样撬动一座城的家当觉醒，500余名专家、企业家将齐聚珠城，共同探讨智能传感器家当进展未来，聚力推进中国传感谷扶植再上新台阶。

感知无界，未来已来。蚌埠也正以“见微知著”的智慧，在智能传感的星辰大海中逐梦前行。

发布于：北京市